深圳市中图仪器股份有限公司
主营业务: 其他加工设备及配件 |
一.SJ6000激光干涉仪用途
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,为机床误差修正提供依据。
二.SJ6000激光干涉仪显著特点
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
三.SJ6000激光干涉仪技术参数
测量方式:单频
稳频精度:0.05ppm
动态采集频率:50 kHz
预热时间:5-10分钟
工作温度范围:0~38℃
环境温度范围:0~38℃,环境湿度:0~95%
存储温度范围:-20℃~70℃
空气温度传感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
空气湿度传感器:±6% (0-95%)
大气压力传感器:±0.1kPa
测量距离:0-40m
测量精度:0.5ppm (0-38℃)
测量分辨率:1nm
测量最大速度:3m/sec
四.SJ6000激光干涉仪软件内置标准
数据库内置的常用标准 |
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标准号 |
标准名称 |
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ISO230-2 |
老版国际标准 |
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ISO230-1997 |
新版国际标准 |
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ANSI B5.54 |
美国国家标准 |
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ASME B89.1.12M |
美国机械工程师协会标准 |
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NMTBA |
美国机床协会标准 |
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BS 3800 |
英国机床标准 |
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BS 4656 |
英国三测机标准 |
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JIS B6330 |
日本国家标准 |
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GB 17421-2000 |
中国国家标准 |
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VDI 3441 |
德国机床标准 |
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