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SJ6000激光干涉仪

更新时间:2017-01-18  访问统计:1168

一.SJ6000激光干涉仪用途

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,为机床误差修正提供依据。

 

二.SJ6000激光干涉仪显著特点

1.测量精度高、速度快,稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。

③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。

 

三.SJ6000激光干涉仪技术参数

  • 系统性能

    测量方式:单频

    稳频精度:0.05ppm

    动态采集频率:50 kHz

    预热时间:5-10分钟

    工作温度范围:0~38℃

    环境温度范围:0~38℃,环境湿度:0~95%

    存储温度范围:-20℃~70℃

  • 环境补偿示值误差

    空气温度传感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

    材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

    空气湿度传感器:±6% (0-95%)

    大气压力传感器:±0.1kPa

  • 线性测量

    测量距离:0-40m

    测量精度:0.5ppm (0-38℃)

    测量分辨率:1nm

    测量最大速度:3m/sec

 

四.SJ6000激光干涉仪软件内置标准

 

数据库内置的常用标准

标准号

标准名称

ISO230-2

老版国际标准

ISO230-1997

新版国际标准

ANSI B5.54

美国国家标准

ASME B89.1.12M

美国机械工程师协会标准

NMTBA

美国机床协会标准

BS 3800

英国机床标准

BS 4656

英国三测机标准

JIS B6330

日本国家标准

GB 17421-2000

中国国家标准

VDI 3441

德国机床标准

 
End

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